UV紫外/EUV極深紫外激光光束質量分析儀可實現高分辨率實時空間光束的監測、定量表征與強度分布。主要針對準分子激光器設計，用于所有脈沖或連續波激光器以及非相干光源，覆蓋極寬的光譜范圍從近紅外到軟X射線（光譜范圍~ 1 …. 1100 nm），檢測器CCD芯片上量子轉換涂層保證了UV/EUV檢測的高靈敏度。

配置各種不同類型的傳感器（大/小面積、高度、空間分辨率、靈敏度和動態范圍）可適配多種指定測試應用場景。軟件支持外圍器件（如自適應鏡片、步進馬達、衰減器、快門或者功率檢測等），實現遠程或者自動測量。

別名：激光束分析儀、光束質量分析儀、光束分析儀、光斑分析儀、光束形貌分析儀、激光束質量分析儀

主要功能

        依據ISO11146 檢測光束參數

        依據ISO11670 指向穩定性診斷

        依據ISO13694 分析光束形狀

        M2光束質量因子分析

        脈沖 to 脈沖波動檢測

        光束傳播和聚焦性能分析

        在線激光束檢測

        激光運行參數優化

Near‐field and far‐field profile of ArF excimer laser

(193nm), indicating 2nd moment beam widths

主要特點

        寬光譜范圍~ 1 …. 1100 nm (NIR, Vis, UV, EUV)

        小面積和大面積CCD傳感器可選

        USB3.0 or GigE通訊

        高動態范圍（12/14Bit）

光束測試軟件

測試基于ISO標準